Oxide etching with NF₃ hydrocarbon chemistries for global warming emissions reduction

অনুরূপ উপাদানগুলি

• Non-perfluorocompound chemistries for dielectric etching applications
  অনুযায়ী: Pruette, Laura C. (Laura Catherine), 1974-
  প্রকাশিত: (2009)
• Alternative chemistries for etching of silicon dioxide and silicon nitride
  অনুযায়ী: Karecki, Simon Martin
  প্রকাশিত: (2008)
• Development of novel alternative chemistry processes for dielectric etch applications
  অনুযায়ী: Karecki, Simon Martin
  প্রকাশিত: (2005)
• Evaluation of unsaturated fluorocarbons for dielectric Etch applications
  অনুযায়ী: Chatterjee, Ritwik, 1974-
  প্রকাশিত: (2014)
• Variation reduction in plasma etching via run-to-run process control and endpoint detection
  অনুযায়ী: Le, Minh Sy
  প্রকাশিত: (2008)