Plasma assisted deposition of Ti-Si-N and Ti-Si-N-O diffusion barrier films

216 p.

書誌詳細
第一著者: Ee, Elden Yong Chiang
その他の著者: Chen Zhong
フォーマット: 学位論文
出版事項: 2010
主題:
オンライン・アクセス:https://hdl.handle.net/10356/35963