Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya
Telah dihasilkan beberapa lapisan tipis dengan metode implantasi ion nitrogen. Lapisan tipis frki dianalisis sifat-sifat optis, ketebalannya dan komposisinya dengan menggunakan spektrofotometer Ultraviolet-Visible dan Electron Probe Microanalyzer. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa: (1) lapisan...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
1999
|
| Subjects: |