Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya
Telah dihasilkan beberapa lapisan tipis dengan metode implantasi ion nitrogen. Lapisan tipis frki dianalisis sifat-sifat optis, ketebalannya dan komposisinya dengan menggunakan spektrofotometer Ultraviolet-Visible dan Electron Probe Microanalyzer. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa: (1) lapisan...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
1999
|
| Subjects: |
| _version_ | 1797018578909659136 |
|---|---|
| author | Perpustakaan UGM, i-lib |
| author_facet | Perpustakaan UGM, i-lib |
| author_sort | Perpustakaan UGM, i-lib |
| collection | UGM |
| description | Telah dihasilkan beberapa lapisan tipis dengan metode implantasi ion nitrogen. Lapisan tipis frki dianalisis sifat-sifat optis, ketebalannya dan komposisinya dengan menggunakan spektrofotometer Ultraviolet-Visible dan Electron Probe Microanalyzer. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa: (1) lapisan tipis nitrida:silikat memiliki ketebalan dalam orde ribuan angstrom, yaitu dari (2640 ± 5)A hingga (4625 ± 6)A, (2) pada energi ion tetap, penambahan dosis ion menyebabkan indeks bias lapisan tipis semakin besar, (3) pada dosis ion tetap, penambahan energi ion menyebabkan indeks bias lapisan tipis semakin turun, tetapi ketebalan Iapisannya semakin meningkat, (4) lapisan tipis dengan indeks bias semakin besar memiliki koefisien serapan, koefisien ekstinsi, absorptans clan reflektans juga semakin besar, tetapi transmitansnya semakin kecil.
Kata kunci: Lapisan tipis nitrida:silikat, implantasi ion, sifat-sifat optis. |
| first_indexed | 2024-03-05T23:01:44Z |
| format | Article |
| id | oai:generic.eprints.org:22064 |
| institution | Universiti Gadjah Mada |
| last_indexed | 2024-03-13T18:46:25Z |
| publishDate | 1999 |
| publisher | [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada |
| record_format | dspace |
| spelling | oai:generic.eprints.org:220642014-06-18T00:35:00Z https://repository.ugm.ac.id/22064/ Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya Perpustakaan UGM, i-lib Jurnal i-lib UGM Telah dihasilkan beberapa lapisan tipis dengan metode implantasi ion nitrogen. Lapisan tipis frki dianalisis sifat-sifat optis, ketebalannya dan komposisinya dengan menggunakan spektrofotometer Ultraviolet-Visible dan Electron Probe Microanalyzer. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa: (1) lapisan tipis nitrida:silikat memiliki ketebalan dalam orde ribuan angstrom, yaitu dari (2640 ± 5)A hingga (4625 ± 6)A, (2) pada energi ion tetap, penambahan dosis ion menyebabkan indeks bias lapisan tipis semakin besar, (3) pada dosis ion tetap, penambahan energi ion menyebabkan indeks bias lapisan tipis semakin turun, tetapi ketebalan Iapisannya semakin meningkat, (4) lapisan tipis dengan indeks bias semakin besar memiliki koefisien serapan, koefisien ekstinsi, absorptans clan reflektans juga semakin besar, tetapi transmitansnya semakin kecil. Kata kunci: Lapisan tipis nitrida:silikat, implantasi ion, sifat-sifat optis. [Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada 1999 Article NonPeerReviewed Perpustakaan UGM, i-lib (1999) Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya. Jurnal i-lib UGM. http://i-lib.ugm.ac.id/jurnal/download.php?dataId=4944 |
| spellingShingle | Jurnal i-lib UGM Perpustakaan UGM, i-lib Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya |
| title | Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya |
| title_full | Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya |
| title_fullStr | Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya |
| title_full_unstemmed | Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya |
| title_short | Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya |
| title_sort | deposisi lapisan tipis nitrida silikat dengan metode implantasi ion dan analisis sifat sifat optisnya |
| topic | Jurnal i-lib UGM |
| work_keys_str_mv | AT perpustakaanugmilib deposisilapisantipisnitridasilikatdenganmetodeimplantasiiondananalisissifatsifatoptisnya |