Deposisi Lapisan Tipis Nitrida:Silikat Dengan Metode Implantasi Ion Dan Analisis Sifat-Sifat Optisnya
Telah dihasilkan beberapa lapisan tipis dengan metode implantasi ion nitrogen. Lapisan tipis frki dianalisis sifat-sifat optis, ketebalannya dan komposisinya dengan menggunakan spektrofotometer Ultraviolet-Visible dan Electron Probe Microanalyzer. Hasil penelitian ini menunjukkan bahwa: (1) lapisan...
Main Author: | Perpustakaan UGM, i-lib |
---|---|
Format: | Article |
Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
1999
|
Subjects: |
Similar Items
-
Deposisi lapisan tipis nitrida : silikat dengan metode implantasi ion dan analisis sifat-sifat optisnya
by: , WASIS, et al.
Published: (1998) -
Indeks Bias Dan Relasinya Terhadap Struktur Ikatan Lapisan Tipis Amorf Silikon Karbon (a-SiC:H) Hasil Deposisi Metode DC Sputtering
by: Perpustakaan UGM, i-lib
Published: (2002) -
Deposisi lapisan tipis aluminium nitrida (AiN) dengan teknik sputtering dan analisis sifat kekerasan, keausan, serta korosnya
by: , MURTONO, et al.
Published: (1999) -
Sifat Listrik Dan Optik Dari Lapisan Tipis ZnO:B Yang Ditumbuhkan Dengan Metode Metalorganic Chemical Vapor Deposition
by: Perpustakaan UGM, i-lib
Published: (2003) -
Pengaruh implantasi ion aluminium terhadap perubahaan sifat kelelahan tembaga
by: Perpustakaan UGM, i-lib
Published: (1998)