Studi Awal Pemanfaatan Lapisan Si02 Sebagai Sensor Ph
Telah dibuat studi awal pembuatan sensor pH berdasarkan prinsip kerja FET, yang terdiri atas silikon tipe-p, tebal 0.1 mm yang dilapisi dengan Si02 dan alumunium (Si02/Si/A1). Permukaan Si02 adalah permukaan kontak sensor dengan cairan. Pelapisan Si02 dilakukan dengan cara meletakkan wafer Si pada u...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
2002
|
| Subjects: |