Sifat Listrik Dan Optik Dari Lapisan Tipis ZnO:B Yang Ditumbuhkan Dengan Metode Metalorganic Chemical Vapor Deposition
Telah ditumbuhkan lapisan tipis ZnO dengan metode metalorganic chemical vapor deposition (MOCVD) yang menggunakan gas pereaksi dimethylzinc (DMZ) dan H2O. Gas B2H6 digunakan sebagai gas doping tipe-n dan diperoleh lapisan tipis dengan sheet resistivity sebesar 2,42 ohm/sqr pada ketebalan 4,47 pm. Di...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
2003
|
| Subjects: |