Pengamatan Gejala Defleksi Fototermal Pada Lempeng Silikon Dengan Teknik Deteksi Trasversal
Telah dilakukan pengamatan sinyal fototermal pada lempeng silikon dengan teknik defleksi fototermal transversal, yaitu berkas laser penguji dilewatkan permukaan lempeng secara menyusur. Dalam metode ini digunakan laser Argon Ion sebagai pemompa dan He-Ne sebagai berkas penguji. Gejala fototermal yan...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Article |
| Published: |
[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada
2003
|
| Subjects: |