Pengaruh metode preparasi DC dan RF sputtering terhadap sifat lapisan tipis Fe

Detalhes bibliográficos
Principais autores:	, SUHARYADI, Edi, , Dr. Trimardji Atmono
Formato:	Tese
Publicado em:	[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada 2000
Assuntos:	ETD

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