Deposisi bahan lapisan tipis amorf silikon (a-Si) dengan teknik sputtering dan karakterisasi sifat listriknya

Detalhes bibliográficos
Principais autores:	, MAHARDIKA, I Ketut, , Drs. Karyono, SU.,Ph.D
Formato:	Tese
Publicado em:	[Yogyakarta] : Universitas Gadjah Mada 1997
Assuntos:	ETD

Registros relacionados