Microwave plasma characteristics during bias-enhanced nucleation of diamond: An optical emission spectroscopic study

Microwave plasma characteristics during bias-enhanced nucleation of diamond: An optical emission spectroscopic study

A negative bias applied to a nondiamond substrate at the initiation of microwave plasma-enhanced chemical-vapor deposition of thin-film diamond can lead to diamond nucleation, high crystalline density, and an improved level of crystallographic alignment. In this work, optical emission spectroscopy h...

Повний опис

Бібліографічні деталі
Автори:	Whitfield, MD, Jackman, R, Rodway, D, Savage, J, Foord, J
Формат:	Journal article
Мова:	English
Опубліковано:	1996

Схожі ресурси

Biased enhanced nucleation of diamond on metals: An OES and electrical investigation
за авторством: Whitfield, MD, та інші
Опубліковано: (1997)

Optimising control of microwave plasma bias enhanced nucleation for heteroepitaxial chemical vapour deposition diamond
за авторством: Marshall, R, та інші
Опубліковано: (1997)

Characterisation of the secondary glow region of a biased microwave plasma by optical emission spectroscopy
за авторством: Whitfield, MD, та інші
Опубліковано: (2000)

Spatially resolved optical emission spectroscopy of the secondary glow observed during biasing of a microwave plasma
за авторством: Whitfield, MD, та інші
Опубліковано: (2000)

THE GROWTH OF NUCLEATION LAYERS FOR HIGH-QUALITY DIAMOND CVD FROM AN RF PLASMA
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1995)

Field emission from thin film diamond grown using a magnetically enhanced radio frequency plasma source
за авторством: Proffitt, S, та інші
Опубліковано: (1999)

Growth of nanocrystalline diamond films for low field electron emission
за авторством: Proffitt, S, та інші
Опубліковано: (1999)

SURFACE SPECTROSCOPIC STUDIES OF THE INITIAL-STAGES OF DIAMOND GROWTH ON SI(100)
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1993)

Formation of diamond and nanocrystalline diamond films by microwave plasma CVD
за авторством: Hiramatsu, M, та інші
Опубліковано: (2002)

Enhancing low field electron emission from polycrystalline diamond
за авторством: Baral, B, та інші
Опубліковано: (1997)

The effect of hydrogen on the electronic properties of CVD diamond films
за авторством: Looi, H, та інші
Опубліковано: (1999)

DIAMOND CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION FROM A CAPACITIVELY COUPLED RADIO-FREQUENCY PLASMA
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1995)

CAPACITIVELY COUPLED RF PLASMA SOURCES - A VIABLE APPROACH FOR CVD DIAMOND GROWTH
за авторством: Beckman, J, та інші
Опубліковано: (1994)

Deep level transient spectroscopy of CVD diamond: the observation of defect states in hydrogenated films
за авторством: Gaudin, O, та інші
Опубліковано: (2001)

CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION OF DIAMOND FROM A NOVEL CAPACITIVELY COUPLED RF PLASMA SOURCE
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1995)

Progress towards high power thin film diamond transistors
за авторством: Looi, H, та інші
Опубліковано: (1999)

Hydrogen doped thin film diamond phototransistor/photodiode structures for the detection of UV radiation
за авторством: Whitfield, MD, та інші
Опубліковано: (2000)

Engineering low resistance contacts on p-type hydrogenated diamond surfaces
за авторством: Looi, H, та інші
Опубліковано: (2000)

High-performance devices from surface-conducting thin-film diamond
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1999)

Mechanisms of suppressing secondary nucleation for low-power and low-temperature microwave plasma self-bias-enhanced growth of diamond films in argon diluted methane
за авторством: Ji-heng Jiang, та інші
Опубліковано: (2011-12-01)

Formation of shallow acceptor states in the surface region of thin film diamond
за авторством: Williams, O, та інші
Опубліковано: (2001)

Carrier generation within the surface region of hydrogenated thin film polycrystalline diamond
за авторством: Williams, O, та інші
Опубліковано: (2001)

Diamond photocathodes in gaseous environments
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (2004)

High carrier mobility in polycrystalline thin film diamond
за авторством: Looi, H, та інші
Опубліковано: (1998)

AN X-RAY PHOTOELECTRON SPECTROSCOPIC INVESTIGATION OF THE OXIDATION OF MANGANESE
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (1984)

Effect of substrate roughness on the nucleation and growth behaviour of microwave plasma enhanced CVD diamond films – a case study
за авторством: Awadesh Kumar Mallik, та інші
Опубліковано: (2023-12-01)

High carrier mobilities in black diamond
за авторством: Williams, O, та інші
Опубліковано: (2003)

Mechanisms of surface conductivity in thin film diamond: Application to high performance devices
за авторством: Looi, H, та інші
Опубліковано: (1999)

A ROUTE FOR THE FORMATION OF CH2 SPECIES DURING DIAMOND CVD
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1995)

Reactive chemistry of C(2)H(x) species on CVD diamond
за авторством: Loh, K, та інші
Опубліковано: (1998)

An investigation of the surface reactivity of diamond photocathodes with molecular and atomic oxygen species
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (2001)

Measurement of C-2 radical density in microwave methane/hydrogen plasma used for nanocrystalline diamond film formation
за авторством: Hiramatsu, M, та інші
Опубліковано: (2003)

Photoelectron spectroscopy studies of barium films on diamond with respect to the modification of negative electron affinity characteristics
за авторством: Jones, F, та інші
Опубліковано: (1998)

Spectroscopic Characteristics of Treated-Color Natural Diamonds
за авторством: Meili Wang, та інші
Опубліковано: (2018-01-01)

Surface studies of the reactivity of methyl, acetylene and atomic hydrogen at CVD diamond surfaces
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (1998)

Interaction of organo-sulfur compounds with CVD diamond surfaces
за авторством: Baral, B, та інші
Опубліковано: (2000)

Dopant incorporation mechanisms during the growth of thin film diamond
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1996)

Black diamond: a new material for active electronic devices
за авторством: Williams, O, та інші
Опубліковано: (2002)

Influence of material properties on the performance of diamond photocathodes
за авторством: Foord, J, та інші
Опубліковано: (2002)

THE INITIAL-STAGES OF DIAMOND GROWTH - AN ADSORPTION STUDY OF HOT-FILAMENT ACTIVATED METHANE AND HYDROGEN ON SI(100)
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1993)