TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask

التفاصيل البيبلوغرافية
المؤلفون الرئيسيون:	Loong, W, Chen, T, Shy, S, Tseng, J, Lin, R
التنسيق:	Conference item
منشور في:	1996

الوصف
الملخص:

مواد مشابهة