TiSix as a new embedded material for attenuated phase shift mask

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Loong, W, Chen, T, Shy, S, Tseng, J, Lin, R
Μορφή: Conference item
Έκδοση: 1996