Residual stress measurement in thin films at sub-micron scale using Focused Ion Beam milling and imaging

Бібліографічні деталі
Автори: Song, X, Yeap, K, Zhu, J, Belnoue, J, Sebastiani, M, Bemporad, E, Zeng, K, Korsunsky, A
Формат: Journal article
Опубліковано: 2012