Residual stress measurement in thin films at sub-micron scale using Focused Ion Beam milling and imaging

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Song, X, Yeap, K, Zhu, J, Belnoue, J, Sebastiani, M, Bemporad, E, Zeng, K, Korsunsky, A
Ձևաչափ: Journal article
Հրապարակվել է: 2012