Residual stress measurement in thin films at sub-micron scale using Focused Ion Beam milling and imaging

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Үндсэн зохиолчид: Song, X, Yeap, K, Zhu, J, Belnoue, J, Sebastiani, M, Bemporad, E, Zeng, K, Korsunsky, A
Формат: Journal article
Хэвлэсэн: 2012