ELECTRON-BEAM STIMULATED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF PATTERNED TUNGSTEN FILMS ON SI(100)
Κύριοι συγγραφείς: | Jackman, R, Foord, J |
---|---|
Μορφή: | Journal article |
Έκδοση: |
1986
|
Παρόμοια τεκμήρια
Παρόμοια τεκμήρια
-
THERMAL AND PHOTOCHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF FE FROM FE(CO)5 ON SI(100)
ανά: Jackman, R, κ.ά.
Έκδοση: (1989) -
CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION ON SILICON - INSITU SURFACE STUDIES
ανά: Foord, J, κ.ά.
Έκδοση: (1984) -
LASER CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF PATTERNED FE ON SILICA GLASS - OBSERVATION AND ORIGINS OF PERIODIC RIPPLE STRUCTURES
ανά: Jackman, R, κ.ά.
Έκδοση: (1986) -
Chemical vapor deposition of tungsten and tungsten silicides : for VLSI/ULSI applications
ανά: 439284 Schmitz, John E. J.
Έκδοση: (1992) -
DIAMOND CHEMICAL-VAPOR-DEPOSITION FROM A CAPACITIVELY COUPLED RADIO-FREQUENCY PLASMA
ανά: Jackman, R, κ.ά.
Έκδοση: (1995)