ELECTRON-BEAM STIMULATED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF PATTERNED TUNGSTEN FILMS ON SI(100)

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Jackman, R, Foord, J
Μορφή: Journal article
Έκδοση: 1986

Παρόμοια τεκμήρια