ELECTRON-BEAM STIMULATED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF PATTERNED TUNGSTEN FILMS ON SI(100)

Մատենագիտական մանրամասներ
Հիմնական հեղինակներ: Jackman, R, Foord, J
Ձևաչափ: Journal article
Հրապարակվել է: 1986

Նմանատիպ նյութեր