SPATIALLY AND TEMPORALLY RESOLVED LASER-INDUCED FLUORESCENCE MEASUREMENTS OF CF2 AND CF RADICALS IN A CF4 RF PLASMA
Laser-induced fluorescence has been used to examine the temporal behavior of ground-state CF2 and CF radicals in a CF4 plasma etching reactor. We also report the measured spatial dependencies of the radical concentrations, and develop a rigorous model for their interpretation. The results indicate t...
প্রধান লেখক: | Booth, J, Hancock, G, Perry, N, Toogood, M |
---|---|
বিন্যাস: | Journal article |
ভাষা: | English |
প্রকাশিত: |
1989
|
অনুরূপ উপাদানগুলি
অনুরূপ উপাদানগুলি
-
LASER-INDUCED FLUORESCENCE DETECTION OF CF AND CF2 RADICALS IN A CF4/O2 PLASMA
অনুযায়ী: Booth, J, অন্যান্য
প্রকাশিত: (1987) -
Quantitative laser-induced fluorescence spectroscopy of the CF A(2)Sigma(+)-X(2)Pi transition: Electronic transition dipole moment function and predissociation
অনুযায়ী: Booth, J, অন্যান্য
প্রকাশিত: (1996) -
THE RADIATIVE LIFETIME OF CF(A2SIGMA+)
অনুযায়ী: Booth, J, অন্যান্য
প্রকাশিত: (1988) -
Optical diagnostics of radio-frequency plasmas containing CHF3 and CHF3/O-2: Laser-induced fluorescence of CF2, CF, and O atoms, and optical emission from H, F, and O
অনুযায়ী: Hancock, G, অন্যান্য
প্রকাশিত: (2002) -
Pathogenesis, imaging and clinical characteristics of CF and non-CF bronchiectasis
অনুযায়ী: Schäfer, Jürgen, অন্যান্য
প্রকাশিত: (2018)