Strain and defect microstructure in ion-irradiated GeSi/Si strained layers as a function of annealing temperature

Библиографические подробности
Главные авторы: Glasko, J, Elliman, R, Zou, J, Cockayne, D, Gerald, F
Формат: Journal article
Опубликовано: 1998

Схожие документы