The properties of nitrogen and oxygen in silicon
A novel dislocation locking technique is used to study the behaviour of nitrogen and oxygen in silicon. Specimens containing well-defined arrays of dislocation half-loops are subjected to isothermal anneals of controlled duration, during which nitrogen or oxygen diffuses to the dislocations. The str...
Հիմնական հեղինակներ: | , |
---|---|
Այլ հեղինակներ: | |
Ձևաչափ: | Թեզիս |
Լեզու: | English |
Հրապարակվել է: |
2006
|
Խորագրեր: |