Toogood, M., Toogood, M. J., & Hancock, G. (1991). Studies of the chemistry of plasmas used for semiconductor etching.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Toogood, M., M. J. Toogood, ба G. Hancock. Studies of the Chemistry of Plasmas Used for Semiconductor Etching. 1991.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Toogood, M., et al. Studies of the Chemistry of Plasmas Used for Semiconductor Etching. 1991.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.