Toogood, M., Toogood, M. J., & Hancock, G. (1991). Studies of the chemistry of plasmas used for semiconductor etching.
Chicago Style (17. basım) AtıfToogood, M., M. J. Toogood, ve G. Hancock. Studies of the Chemistry of Plasmas Used for Semiconductor Etching. 1991.
MLA (9th ed.) AtıfToogood, M., et al. Studies of the Chemistry of Plasmas Used for Semiconductor Etching. 1991.
Uyarı: Bu alıntı herzaman %100 doğru olmayabilir..