Borucki, L., Witelski, T., Please, C., Kramer, P., & Schwendeman, D. (2004). A theory of pad conditioning for chemical-mechanical polishing.
Παραπομπή σε μορφή Chicago (17η εκδ.)Borucki, L., T. Witelski, C. Please, P. Kramer, και D. Schwendeman. A Theory of Pad Conditioning for Chemical-mechanical Polishing. 2004.
Παραπομπή σε μορφή MLA (9th εκδ.)Borucki, L., et al. A Theory of Pad Conditioning for Chemical-mechanical Polishing. 2004.
Πρόσοχή: Οι παραπομπές μπορεί να μην είναι 100% ακριβείς.