Borucki, L., Witelski, T., Please, C., Kramer, P., & Schwendeman, D. (2004). A theory of pad conditioning for chemical-mechanical polishing.
Չիկագոյի ոճի (17րդ խմբ.) մեջբերումBorucki, L., T. Witelski, C. Please, P. Kramer, and D. Schwendeman. A Theory of Pad Conditioning for Chemical-mechanical Polishing. 2004.
MLA (9րդ խմբ.) ՄեջբերումBorucki, L., et al. A Theory of Pad Conditioning for Chemical-mechanical Polishing. 2004.
Զգուշացում. այս մեջբերումները միշտ չէ, որ կարող են 100% ճշգրիտ լինել.