Borucki, L., Witelski, T., Please, C., Kramer, P., & Schwendeman, D. (2004). A theory of pad conditioning for chemical-mechanical polishing.
Chicago-referens (17:e uppl.)Borucki, L., T. Witelski, C. Please, P. Kramer, och D. Schwendeman. A Theory of Pad Conditioning for Chemical-mechanical Polishing. 2004.
MLA-referens (9:e uppl.)Borucki, L., et al. A Theory of Pad Conditioning for Chemical-mechanical Polishing. 2004.
Varning: dessa hänvisningar är inte alltid fullständigt riktiga.