Borucki, L., Witelski, T., Please, C., Kramer, P., & Schwendeman, D. (2004). A theory of pad conditioning for chemical-mechanical polishing.
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Borucki, L., T. Witelski, C. Please, P. Kramer, và D. Schwendeman. A Theory of Pad Conditioning for Chemical-mechanical Polishing. 2004.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 9)Borucki, L., et al. A Theory of Pad Conditioning for Chemical-mechanical Polishing. 2004.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.