Cycle Time Analysis For Photolithography Tools In Semiconductor Manufacturing Industry With Simulation Model: A Case Study
Perkembangan industri semikonduktor dalam bidang fabrikasi biasanya melibatkan kos pelaburan yang tinggi terutamanya dalam alatan photolithography. Perkembangan pesat dalam bidang industri semikonduktor kini telah memerangsangkan teknik untuk mengoptimumkan penggunaan mesin-mesin dengan efektif s...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
2008
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.usm.my/31210/1/SIOW_YUEN_TIEN.pdf |