Molecular Mechanics Simulations Of Quartz Etching Process
Thesis ini membentangkan hasil kajian tentang proses punaran secara fizikal menggunakan hentaman Argon ke atas substrat α-kuarza dan amorfus kuarza dengan menggunakan kaedah molekular mekanik. Walaupun kajian mendalam terhadap proses punaran ke atas kuarza sudah ada, namun kebanyakan daripadanya...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.usm.my/41604/1/Molecular_Mechanics_Simulations_Of_Quartz_Etching_Process.pdf |