Gallium Nitride (GaN) Based Gas Sensor Using Catalytic Metal [TK7871.15.G33 H884 2005 f rb].
Dalam kajian ini, Pt, Pd, Ag dan Ni dimendapkan ke atas GaN dan AlGaN jenis p dan jenis n sebagai sentuhan logam mangkinan dengan menggunakan sistem percikan menerusi topeng logam bagi mengesan gas N2, H2 dan CH4 dengan kepekatan dan ketebalan logam yang berbeza dalam julat dari 50 hinga 300nm. Kemu...
| Main Author: | |
|---|---|
| Format: | Thesis |
| Language: | English |
| Published: |
2005
|
| Subjects: | |
| Online Access: | http://eprints.usm.my/8635/1/GALLIUM_NITRIDE_%28GaN%29_BASED_GAS_SENSOR.pdf |