Development of three-dimensional (3D) grayscale Photolithography process for microfluidic curvature Structures

Three-dimensional (3D) microstructures can enhance the optical, electrical and mechanical properties of the microfluidic system. However, the 3D microfabrication is challenging when simultaneous control over fabrication of lateral and vertical dimensions is required. To achieve such control, g...

Mô tả đầy đủ

Chi tiết về thư mục
Tác giả chính: Abdul Hamid, Intan Sue Liana
Định dạng: Luận văn
Ngôn ngữ:English
Được phát hành: 2018
Những chủ đề:
Truy cập trực tuyến:http://eprints.uthm.edu.my/695/1/24p%20INTAN%20SUE%20LIANA%20ABDUL%20HAMID.pdf