Unified analytic formula for physical sputtering yield at normal ion incidence /
PSZJBL
Autores principales: | , , |
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Formato: | |
Lenguaje: | eng |
Publicado: |
Toki, Japan : NIFS,
2001
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Materias: |
Sumario: | PSZJBL |
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PSZJBL
Autores principales: | , , |
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Formato: | |
Lenguaje: | eng |
Publicado: |
Toki, Japan : NIFS,
2001
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Materias: |
Sumario: | PSZJBL |
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