Unified analytic formula for physical sputtering yield at normal ion incidence /
PSZJBL
Үндсэн зохиолчид: | , , |
---|---|
Формат: | |
Хэл сонгох: | eng |
Хэвлэсэн: |
Toki, Japan : NIFS,
2001
|
Нөхцлүүд: |
Тойм: | PSZJBL |
---|
PSZJBL
Үндсэн зохиолчид: | , , |
---|---|
Формат: | |
Хэл сонгох: | eng |
Хэвлэсэн: |
Toki, Japan : NIFS,
2001
|
Нөхцлүүд: |
Тойм: | PSZJBL |
---|