Roles of Atomic Nitrogen/Hydrogen in GaN Film Growth by Chemically Assisted Sputtering with Dual Plasma Sources
المؤلفون الرئيسيون: | , , , , , , , , , , , |
---|---|
التنسيق: | مقال |
اللغة: | English |
منشور في: |
American Chemical Society
2020-10-01
|
سلاسل: | ACS Omega |
الوصول للمادة أونلاين: | https://doi.org/10.1021/acsomega.0c03865 |