Deactivation and diffusion of boron in ion-implanted silicon studied by secondary electron imaging

Λεπτομέρειες βιβλιογραφικής εγγραφής
Κύριοι συγγραφείς: Castell, M, Simpson, T, Mitchell, I, Perovic, D, Baribeau, J
Μορφή: Journal article
Έκδοση: 1999

Παρόμοια τεκμήρια