Deactivation and diffusion of boron in ion-implanted silicon studied by secondary electron imaging

Номзүйн дэлгэрэнгүй
Үндсэн зохиолчид: Castell, M, Simpson, T, Mitchell, I, Perovic, D, Baribeau, J
Формат: Journal article
Хэвлэсэн: 1999

Ижил төстэй зүйлс