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ELECTRON-BEAM STIMULATED CHEMI...
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ELECTRON-BEAM STIMULATED CHEMICAL VAPOR-DEPOSITION OF PATTERNED TUNGSTEN FILMS ON SI(100)
Detalhes bibliográficos
Principais autores:
Jackman, R
,
Foord, J
Formato:
Journal article
Publicado em:
1986
Itens
Descrição
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Registro fonte
Descrição
Resumo:
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