ADSORPTION, ETCHING AND PHOTOINDUCED REACTIONS AT THE SI(100)-CCL4 INTERFACE
Автори: | French, C, Jackman, R, Price, R, Foord, J |
---|---|
Формат: | Journal article |
Опубліковано: |
1989
|
Схожі ресурси
Схожі ресурси
-
Adsorption, etching and photo-induced reactions at the Si(100)-CCl 4 interface
за авторством: French, C, та інші
Опубліковано: (1989) -
REACTION-MECHANISMS FOR THE PHOTON-ENHANCED ETCHING OF SEMICONDUCTORS - AN INVESTIGATION OF THE UV-STIMULATED INTERACTION OF CHLORINE WITH SI(100)
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1986) -
CHEMICAL PRECURSORS FOR GAAS ETCHING WITH LOW-ENERGY ION-BEAMS - CHLORINE ADSORPTION ON GAAS(100)
за авторством: Jackman, R, та інші
Опубліковано: (1991) -
Surface studies of the interaction of Cl2 with InP(100)(4 × 2); an investigation of adsorption, thermal etching and ion beam assisted processes
за авторством: Murrell, A, та інші
Опубліковано: (1990) -
SURFACE STUDIES OF THE INTERACTION OF CL-2 WITH INP(100)(4X2) - AN INVESTIGATION OF ADSORPTION, THERMAL ETCHING AND ION-BEAM ASSISTED PROCESSES
за авторством: Murrell, A, та інші
Опубліковано: (1990)