Iyer, S. S., & Auberton-Herve, A. J. (2002). Silicon wafer bonding technology: For VLSI and MEMS applications. London : INSPEC.
Чикаго-гийн эшлэл (17 дахь хэвлэлт)Iyer, Subramanian S., ба Andre J. Auberton-Herve. Silicon Wafer Bonding Technology: For VLSI and MEMS Applications. London : INSPEC, 2002.
MLA -ийн эшлэл (9 дэх хэвлэлт)Iyer, Subramanian S., ба Andre J. Auberton-Herve. Silicon Wafer Bonding Technology: For VLSI and MEMS Applications. London : INSPEC, 2002.
Анхааруулга: Эдгээр ишлэлүүд үргэлж 100% үнэн зөв биш байж магадгүй.